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真空蒸镀磁控溅射一体设备JC-M400S
真空镀膜作为半导体、显示、光伏等行业的重要工艺流程,对于器件和模组最终的产品性能起着至关重要的作用。
在高真空度下,采用热蒸镀或磁控溅射等手段,将高纯金属、化合物功能层等镀膜材料,以超高精度,如0.1nm/s的速度,均匀、致密地沉积到基材表面,并精确控制其厚度,通过不同性质的膜层组合,实现特定器件的特殊功能,如光伏发电、电致发光、晶体管放大等。
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