了解详情
单/多通道膜厚监测仪
石英压电陶瓷效应/镀膜速率控制0.1nm/s
单/多通道膜厚监测仪,可以拓展至3个独立的膜厚监测系统,含有三路膜厚探头,分别监测不同空间位置的镀膜速率,如加热镀膜源位置、样品台位置、磁控靶头位置等,互相印证以便更准确的控制真空镀膜过程。
真空镀膜磁控溅射一体设备
智能控制,一键清洗,可定制尺寸
真空镀膜作为半导体、显示、光伏等行业的重要工艺流程,对于器件和模组最终的产品性能起着至关重要的作用。
产品中心