在线真空等离子清洗机从上料、清洗到下料整个过程实现了全自动化，系统采用全自动运行方式，可与上下游生产工序连线，设备采用PLC模块控制，主要部件包括反应腔室、射频等离子产生系统、真空系统、上下料传动系统、气路系统、控制系统、报警系统等。
在线真空等离子清洗机清洗效果更好，具有极高的生产效率，优良的均匀性和一致性，由于清洗过程无人为干涉，可以避免人为操作导致的二次污染。