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直线伸缩驱动

直线伸缩驱动通过真空外的旋转运动转换为真空内的高精度的直线伸缩运动。采用SS316L材料焊接的波纹管密封，可适用于10-11mbar的超高真空环境，操作平稳，精度高。

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重载直线伸缩驱动

重载直线伸缩驱动通过真空外的旋转运动转换为真空内的直线伸缩运动。采用SS316L材料焊接的波纹管密封，可适用于10-11mbar的超高真空环境，运动增量小，操作平稳，高负载，高精度。

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背板式线性驱动

带可调节法兰版本的背板式线性驱动(LPABS)。它是以标准版背板式线性驱动为基础，通过调节三个螺杆实现运动法兰在±3°范围内角度调整，以实现位置调节。

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线性驱动

线性驱动(LTM)可实现沿Z轴的线性运动，具有自锁功能，能保证上端法兰在内部超高真空环境下精准平稳的运动。

此外，我们还提供可调节法兰版(LPA)的线性驱动。它是以标准版线性驱动为基础，通过调节三个螺杆实现运动法兰在±3°范围内角度调整，以实现位置调节。

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