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线性驱动(LTM)可实现沿Z轴的线性运动,具有自锁功能,能保证上端法兰在内部超高真空环境下精准平稳的运动。

此外,我们还提供可调节法兰版(LPA)的线性驱动。它是以标准版线性驱动为基础,通过调节三个螺杆实现运动法兰在±3°范围内角度调整,以实现位置调节。

线性驱动

应用领域

APPLICATION AREA

线路板

 

化学纺织

 

IC半导体

 

触摸屏

 

生物医药

 

新能源

 

汽车制造

 

消费电子